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铜-钨(钼)薄膜相关论文
铜-钨(钼)薄膜制备及应用的研究进展
介绍了近年来铜-钨(钼)薄膜涂层的制备方法,包括溅射沉积法、离子束辅助沉积法、离子束混合法、电子束蒸发法。重点介绍了溅射法中的......
期刊
铜-钨(钼)薄膜
溅射
热控制
Cu-W(Mo) thin film sputtering thermal management
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