锫钛酸铅相关硕士博士期刊学术论文

随着锆钛酸铅(PZT)薄膜在铁电微器件中的广泛应用,薄膜微图形化和刻蚀的研究也日益受到重视.研究表明在薄膜的刻蚀过程中,薄膜表面......