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间歇渗硼相关论文
B(C2H5)3等离子辅助渗硼的研究
对新型渗硼剂B(C2H5)3的渗硼工艺进行了研究。结果表明,在正常渗硼工艺条件下,基体表面没有形成连续致密的渗硼层,而是了一层数μm厚的硼碳层;在......
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PACVD interrupted boriding B(C2H5)3
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