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常压化学气相沉积法制备氮化钛薄膜结构和节能性能研究
在普通玻璃基板上利用常压化学气相沉积法在580℃条件下制备得到了氮化钛薄膜。对薄膜的结晶性能、断面形貌、方块电阻以及光学透......
期刊
氮化钛
常压化学气相沉积法
沉积时间
结构
阳光控制性能
兼具低辐射和阳光控制功能的TiN节能薄膜的制备和性能研究
日益加剧的能源危机正成为全世界关注的热点问题之一,开发和利用新型替代材料和节能技术是有效缓解能源危机的重要途径。本研究提......
学位
TiN
常压化学气相沉积法
低辐射性能
阳光控制性能
V掺杂
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