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阳极层离子源作为一种离子束流大,结构简单的冷阴极气体离子源,被广泛应用于离子束辅助沉积,基片清洗和薄膜沉积等领域,其制备的类......
由于膜基附着力不好,膜层脱落问题是工业生产中磁控溅射镀制黑膜最常见的问题。本实验采用阳极线性离子源和霍尔点源辅助磁控溅射......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
设计了-套阳极层离子源辅助中频磁控溅射装置,并在Si(111)衬底上沉积AIN薄膜.用X射线衍射、原子力显微镜和扫描电镜分析了AIN薄膜......
介绍了一种广泛应用于离子刻蚀、预清洗和离子束辅助镀膜的阳极层离子源的工作原理。分析了磁场对其性能的影响。给出了线性阳极层......
设计了一套阳极层离子源辅助中频磁控溅射装置，并在Si（111）衬底上沉积AIN薄膜。用X射线衍射、原子力显微镜和扫描电镜分析了AIN薄膜的......
本文以高端轴承应用为背景,研究M50钢阳极层离子源辅助渗氮层组织和性能,在减少对试样表面粗糙度影响的基础上,获得所需的组织与性......
主轴轴承是航空发动机的"心脏",是发动机的关重件,由于是在高转速(14500r/min)、高载荷(50000N)和受力复杂的恶劣环境下服役,其运......
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清......
