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阳极键和相关论文
MEMS电场传感器的设计与工艺研究
本课题基于微机械加工技术、利用电荷感应原理,针对空间低频及静电场的检测进行了器件的方案设计和加工工艺研究。按照不同的技术......
学位
微机电系统
深刻蚀
阳极键和
体加工
表面加工
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