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隧穿微陀螺仪相关论文
介观压阻效应微陀螺仪的制造问题及改进方法
将利用多势垒纳米膜介观压阻效应的高灵敏度器件应用在陀螺中,提出了介观压阻效应微陀螺仪结构,并论述了其工作原理.研究并开发了......
期刊
隧穿微陀螺仪
多势垒纳米膜
介观压阻效应
制造工艺
缺陷
tunneling micro-gyroscope
multi-barrier nano films
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