集成门极换流晶闸管器件相关硕士博士期刊学术论文

主要介绍了集成门极换流晶闸管(IGCT)的光刻技术。IGCT器件的光刻次数多,精度要求高,如何保证光刻质量是关键。根据IGCT光刻的特点......