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对一种基于MEMS技术的探针进行开发,以实现微纳米尺度下的几何量测量。该探针是静电梳齿型结构,含有定齿和连接有主梁的动齿。主梁......
提出并设计了一种用于硅基氮化镓（Ga N）可调微镜的静电梳齿型微驱动器。利用有限元软件建立了该器件的几何结构模型,对器件的结构进......
本文综述了MEMS技术的内容、特点、应用和国内外发展情况。介绍了微执行器的驱动方式及各自的优缺点、静电梳齿结构的特点和应用以......
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基于微机电系统(MEMS)技术的可调微镜在通信、计算、投影、成像等领域具有较好的发展趋势。微驱动器作为一种驱动机构,为实现微镜......
