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非接触加热相关论文
旋涂工艺中基片光加热及其红外测温装置研制
旋涂已成为有机薄膜光电器件制备工艺中非常重要的一步,具有工艺简单、制作成本低且薄膜性能优异的特点。旋涂的转速、时间和周围气......
学位
旋涂
基片
非接触加热
红外测温
控温
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