非接触电阻率面分布相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

非接触电阻率面分布相关论文

半绝缘SiC单晶电阻率均匀性研究

采用非接触电阻率面分布（COREMA）方法对本实验室生长得到的2英寸（50mm）4H和6H晶型半绝缘SiC单晶片进行电阻率测试，结果发现数据的离散性......

期刊

碳化硅电阻率均匀性非接触电阻率面分布二次离子质谱 SiC resistivity uniformity COREMA SIMS

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