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非晶硅薄膜晶化相关论文
基于中压等离子体技术的多晶硅薄膜快速晶化及低温生长
多晶硅薄膜因其独特的光学、电学性能及成本优势被认为是信息产业和太阳能光伏发电产业的关键材料。低温、快速制备高质量多晶硅薄......
学位
多晶硅薄膜
中压等离子体
非晶硅薄膜晶化
低温沉积
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