非晶Al2O3薄膜相关论文
薄膜晶体管（TFT）作为平板显示器件的核心元件，主要由以沉积形成的半导体、金属和绝缘体薄膜组成。目前，市面上的TFT大多是由SiO2薄膜作......
采用粉末靶射频磁控溅射方法制备非晶Al_2O_3薄膜,分析了溅射工艺参数对Al_2O_3薄膜微观结构、表面形貌、光学性能的影响规律及机......
