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非球形二氧化硅相关论文
锆元素诱导非球形磨粒对氧化锆陶瓷的化学机械抛光性能
目的 为了提高氧化锆陶瓷手机背板的化学机械抛光(CMP)性能,合成新型非球形二氧化硅磨粒,并分析非球形二氧化硅磨粒在CMP过程中的......
期刊
非球形二氧化硅
氧化锆陶瓷背板
化学机械抛光
材料去除率
表面粗糙度
非球形纳米二氧化硅颗粒的制备及应用
随着半导体技术节点的不断向前推进,化学机械抛光(CMP)作为贯穿芯片制造始终的工艺,其重要性不言而喻。作为CMP抛光液的重要组成部分......
学位
非球形二氧化硅
纳米颗粒
制备工艺
抛光速率
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