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非蒸发型吸气材料相关论文
磁控溅射放电等离子体与非蒸发型吸气薄膜
在新材料研究前沿领域中,当今的沉积技术已经发展到能够制备高质量薄膜的程度,比如化学气相沉积(chemical vapor deposition, CVD)......
学位
磁控溅射
等离子体放电
等离子体不稳定性
电离辐
直流磁控溅射
脉冲磁控溅射
高功率脉冲磁控溅射
薄膜沉积
非蒸发型吸气材料
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