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非Cr掺杂组元相关论文
迟滞氧化型非Cr组元掺杂非晶碳膜的制备及性能研究
通过向Cr-GLC薄膜工作层引入迟滞氧化型组元掺杂,所获C-Cr-X膜因X相(X=强氧化物形成元素Al、Si或碳化物形成元素Mo、W)对C、O扩散结......
学位
磁控溅射
非晶碳膜
迟滞氧化
非Cr掺杂组元
热稳定性
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