面形补偿相关论文
针对精密反射镜的重力变形,提出了一种基于径向预紧力的变形补偿方法。以高数值孔径(NA)投影光刻物镜中的反射镜为研究对象,建立了......
由于现在光学塑料非球面元件在各种光电仪器中的应用越来越普遍,针对注射成型光学塑料元件时对质量的特殊要求,该文利用流变学原理......
