顺序共溅射相关硕士博士期刊学术论文

共溅射允许沉积多种混合材料，使用一套双圆柱形旋转磁控管设备，现在则可将共溅射用于大面积在线沉积。将圆柱形磁控管设备的磁体倾斜......