驻极体电容相关硕士博士期刊学术论文

利用硅材料驻极体电容制成的结构式加速度传感器是一种针对结构分析，模态试验而设计的振动加速度传感器，其工作频率范围１Ｈｚ－１ｋＨｚ，加速度灵敏度......