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高功率MPCVD装置相关论文
新型高功率MPCVD金刚石膜装置模拟及实验研究
化学气相沉积(CVD)高品质的金刚石膜具有优异的物理、化学和机械性能,因此在许多高技术领域有着广阔的应用前景。微波等离子体化学气......
学位
高品质金刚石膜
高功率MPCVD装置
数值模拟
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