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用射频磁控溅射的方法得到了低应力立方氮化硼薄膜。红外光谱结果表明薄膜具有很好的附着力，且含有少量的E-BN和w-BN。电子衍射谱表......
用射频磁控溅射方法得到了低应力立方氮化硼薄膜。红外光谱结果表明 ,薄膜具有很好的附着力 ,且含有少量的E BN和w BN。电子衍射谱......
用射频磁控溅射方法得到了低应力立方氮化硼薄膜。红外光谱结果表明，薄膜具有很好的附着力，且含有少量的Ｅ－ＢＮ和ｗ－ＢＮ。电子衍射谱表明薄膜表层......
