高固有频率相关论文
基于微机电系统（MEMS）技术的加速度传感器因其性价比高、易于集成化而得到广泛应用,但在普通MEMS加速度敏感结构中仍然存在灵敏度和......
为满足极端应用情况对高过载加速度传感器的需求,设计了一种带有微梁的加速度敏感结构。通过对主梁和微梁应力分布及敏感结构固有......
