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高深宽比微沟道相关论文
基于微机电系统的高深宽比气相微色谱柱
色谱柱的微型化是实现气相色谱仪微小型化必须要解决的关键问题之一。该文基于微机电系统技术设计制作了一种具有高深宽比微沟道的......
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微机电系统
气相微色谱柱
高深宽比微沟道
micro-electro-mechanical systems
gas chromatography(GC)colu
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