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高温溅射离子源相关论文
高温溅射离子源及其在LC—3型高能离子注入机上的使用
高温溅射离子源已用于LC—3型离子注入机,可以成功地进行全元素注入。 本文描述了该离子源的结构和使用状况,根据我们的实践,改进......
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