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微小尺寸电子注束斑的测量和分析
在热阴极电子枪中,阴极两端加载一定电压会产生激活态的电子,这种电子在阴阳极间形成的高压加速电场中受力运动后会被加速至很高的......
学位
电子注
束斑
扫描电子显微镜
高真空动态系统
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