高真空蒸发镀膜相关硕士博士期刊学术论文

本文通过离子溅射镀膜和高真空蒸发镀两种方法，用金和钯铱合金做为蒸发源，对样品表面蒸镀导电层。然后用ＡＭＲＡＹ－１９１０ＦＥ场发射扫描电镜观察试样表......