高纯氯化氢相关论文
高纯氯化氢用途广泛,不仅是集成电路生产中硅片刻蚀、钝化、外延、气相抛光、吸杂和洁净处理等工艺的重要材料,也可用于金属冶炼,......
介绍了高纯氯化氢气体的几种制备方法:氢气、氯气直接合成法,碱金属或碱土金属氯化物与浓硫酸反应的解吸法,浓盐酸脱吸法,稀盐酸特......
用浸渍法制备了以Al2O3为载体、Ni为活性组分的Ni/Al2O3二氧化碳甲烷化催化剂,在等温固定床反应器中研究了在Ni/Al2O3催化剂作用下......
<正> 一引言高纯氯化氢是电子工业中制造大规模集成电路所需的重要材料之一。我国电子工业所用高纯氯化氢过去大多是从美、日等国......
<正> 综观国内氯碱厂的液氯包装,除个别厂如山东齐鲁氯碱厂采用屏蔽泵输送液氯外,大多采用气体压缩输送液氯,或者用气化氯,或者用......
