高织构铝薄膜相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

高织构铝薄膜相关论文

离子束辅助沉积改善铝薄膜的取向生长

高性能的铝薄膜因具有低的声阻抗而广泛应用于声表面波器件的制备。本文运用Ar离子束辅助沉积技术，在64°Y-X切向的铌酸锂基片......

期刊

高织构铝薄膜离子束辅助沉积入射角机械性能沟道效应 Highly textured Al film Ion beam assisted depositi

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