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超高速双极电路连线的传输延迟
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高速双极电路
RTP技术在高速双极电路中的应用
该文介绍了RTP技术在多晶硅发射极超高速双极电路研制中的几个应用。其中包括RTP技术一次形成0.1μm发射结深度、0.2μm集电结深度、0.1μm基区宽度;RTP技......
会议
技术配合
高速双极电路
工作频率
分频器
硅化物自对准
多晶硅发射极
结深
基区宽度
高速工艺
门延迟
应用
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