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高频感应加热化学气相沉积相关论文

石英衬底上大晶粒多晶Si薄膜的制备与结构表征

利用高频感应加热化学气相沉积工艺,以H2稀释的SiH4作为反应气体源,在未抛光的粗糙石英衬底上直接沉积制备了具有均匀分布的大晶粒......

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高频感应加热化学气相沉积石英衬底多晶Si膜结构特性 high frequency induced heating chemical vapor depos

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