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高k电介质技术相关论文
45nm工艺与关键技术
介绍了45 nm芯片所采用的关键工艺技术:193 nm ArF干法/浸没式光刻技术、低k电介质技术、高k电介质技术和应变硅技术等。英特尔45 ......
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45nm工艺
193nmArF光刻技术
低k电介质技术
高k电介质技术
应变硅技术
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