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快速热处理对(Ba,Sr)TiO3薄膜晶化行为的影响
采用射频溅射法在Si(111)基片上制备了(Ba,Sr)TiO3(BST)薄膜,并对制备的薄膜进行了快速退火热处理。采用X射线衍射和原子力显微镜分析了退......
期刊
(Ba
Sr)TiO3薄膜
晶化
快速退火热处理
XRD
AFM
(Br
Sr)TiO3 thin films
crystallization
rapid
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