(Ta2O5)0.92（TiO2）0.08薄膜相关硕士博士期刊学术论文

随着超大规模集成电路的发展，寻找能够替代目前使用的电容器件Si基材料是一项急待开展的研究课题。在64Mb动态随机存储器（DRAM）电容材......