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中国财政部、税务总局近日公布最新的企业奖励优惠政策“财税2008一号文”,政策中规定中国内地晶圆厂生产0.25μm工艺技术以下,可抵减......
本文主要述评了光学光刻技术在0.35μm工艺向0.25μm工艺阶段转移的技术革命中所面临的挑战,以及远紫外光刻所处的地位,现状及今后的发展趋势。......