32nm节点相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

32nm节点相关论文

32nm节点极紫外光刻掩模的集成研制

报道了国内首块用于极紫外投影光刻系统的6inch(1inch=2.54cm)标准极紫外光刻掩模。论述了32nm节点6inch标准极紫外光刻掩模的设计......

期刊

X射线光学极紫外投影光刻掩模电子束光刻 32nm节点吸收层时域有限差分法影光外投图形生成

蚀刻设备的现状与发展趋势

概述了蚀刻技术与设备的现状,针对32nm技术节点器件制程对蚀刻设备在双重图形蚀刻、高k/金属栅材料、金属硬掩膜及进入后摩尔时代......

期刊

蚀刻设备 32nm节点双重图形蚀刻高k/金属栅材料金属硬掩膜通孔硅技术

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