3C-SiC单晶薄膜相关论文
在国内，该文首次报道在Si衬底上，采用化学汽相沉积技术生长出直径达30mm的大面积优质3C-SiC单晶薄膜，表面光亮如镜，其（111）面的X射线衍射......
会议
该论文主要分析了3C-SiC/Si的异质外延生长理论模型,指出缓冲层的生长是3C-SiC薄膜生长的关键.通过实验摸索出了适合的工艺条件,利......
本文主要讲述拉曼光谱仪在碳化硅单晶的应用。拉曼光谱谱峰尖锐清晰,适合定性研究碳化硅单晶衬底的分子结构及组成,晶体的立体规整......
期刊
为了改善3C-SiC单晶薄膜结晶质连SiC单晶薄膜微观结构与碳化工艺是3C-SiC/Si异质外延研究的关键。研究了碳化工艺、3C-SiC薄膜外延......
