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5-methyl-1H—benzotriazole相关论文
5-甲基苯并三氮唑作为电腐蚀抑制剂在铜电化学机械平坦化中的应用
根据电化学分析,5-甲基苯并三氮唑(m-BTA)的腐蚀抑制能力要高于并三唑(BTA)的-当羟基乙叉二膦酸(HEDP)电解液中同时含有m—BTA及氯离子时,......
期刊
电化学机械平坦化
5-methyl-1H—benzotriazole
腐蚀抑制剂
氯离子
electrochemical-mechanical planariz
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