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AIInN薄膜相关论文
InAIN薄膜MOCVD外延生长研究
为了研究不同压力和不同模板对InAlN薄膜外延生长的影响,分别选取以GaN为模板时生长压力为4.00、6.67和13.33 kPa,压力为4.00 kPa......
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