AISb多晶薄膜相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

AISb多晶薄膜相关论文

用几何靶溅射方法制备AISb多晶薄膜

采用从踢几何靶用直流磁控溅射方法沉积了AlSb薄膜（衬底温度为30℃和200℃），然后在№气氛下，300～540℃，对沉积的薄膜进行退火。用X射线衍......

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AISb多晶薄膜磁控溅射太阳电池 AlSb polycrystalline thin film magnetron sputtering solar c

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