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AZO陶瓷靶材相关论文
掺铝氧化锌复合粉体制备工艺对靶材性能的影响
以Zn(NO3)2.6H2O、Al(NO3)3.9H2O为前驱体,柠檬酸为络合剂,采用溶胶-凝胶法制备了掺铝氧化锌复合粉体,并通过普通烧结制备出掺铝氧化锌......
期刊
溶胶-凝胶法
AZO陶瓷靶材
合成工艺
Sol-Gel
Al-ZnO ceramic target
synthesis parameter
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