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Ar气压力相关论文
氩气压力对中频磁控溅射制备AZO薄膜性能的影响
在普通玻璃衬底上利用掺杂2%(质量)Al2O3的ZnO陶瓷靶材在中频磁控溅射设备中制备了掺铝氧化锌(ZnO∶Al,AZO)薄膜。利用XRD、XPS、紫外......
期刊
Ar气压力
中频磁控溅射
AZO薄膜
XPS
Ar pressure MF magnetron sputtering AZO thin filmsXPS
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