Au导电薄膜相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

Au导电薄膜相关论文

溅射功率对Au与CdZnTe晶体接触结构和性能的影响

采用直流磁控溅射工艺，以Au为靶材在高阻半导体CdZnTe上制备导电薄膜。系统地研究了溅射功率对沉积速率、薄膜结构、组织形貌及接触......

期刊

磁控溅射溅射功率 Au导电薄膜 CdZnTe半导体欧姆接触 magnetron sputtering sputtering power Au condu

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