B-C-N-Si四元区薄膜相关硕士博士期刊学术论文

该文利用反应磁控溅射技术,在不同的工艺条件(沉积温度、反应气体分压和基片性质等)下制备了本征硬质薄膜BC、CrNx,、NbN和纳米复......