BF2注入相关硕士博士期刊学术论文

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详细介绍了一种采用ＢＦ＿２注入和快速退火制作基区、ｆ＿Ｔ可达３０ＧＨｚ的亚微米双层多晶硅工艺及其器件特性。描述了晶体管的基本参数，以及其截止频率ｆ＿Ｔ和......

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BF2注入退火亚微米多晶硅