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CCD非线性误差相关论文

PZT移相和CCD非线性对高精度球面面形检测的影响

为了提高球面面形的检测精度,对移相菲索干涉仪的球面测量方法中影响高精度球面面形检测的压电陶瓷晶体（PZT）移相误差和电荷耦合探测......

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菲索干涉仪 PZT移相误差 CCD非线性误差球面面形 Fizeau interferometer PZT phase-shifting error CCD

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