CD均匀性相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

CD均匀性相关论文

浸没式ArF光刻CD均匀性研究

根据下一代光刻技术发展趋势和2005年国际半导体技术路径图(ITRS)给出的技术路径,浸没式ArF(氟化氩)光刻是实现特征尺寸(CD,Critic......

学位

CD均匀性 CD误差控制杂散光像差偏振光光刻性能下一代光刻

步进扫描投影光刻机中的曝光剂量控制技术研究

讨论了步进扫描投影光刻机中的曝光剂量控制技术 ,详细阐述了步进扫描投影光刻机中的曝光剂量控制原理 ,提出了一种曝光剂量控制算......

期刊

光刻步进扫描投影光刻曝光剂量控制 CD均匀性

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