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CZ法晶体生长相关论文
直拉法硅单晶生长固液相变模型与数值仿真研究
硅单晶作为半导体行业基础材料,对集成电路技术和光伏发电产业的发展起着非常重要的作用。随着大规模集成电路的发展,对硅单晶有了更......
学位
CZ法晶体生长
固液相变
浸入边界法
格子Boltzmann法
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