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飞秒激光微纳加工中细观力学研究
作为一种新型的激光成型技术,飞秒激光微纳加工具有真三维的制作能力和亚微米的加工分辨率等技术特点,在MEMS研究领域受到越来越广泛......
学位
飞秒激光微纳加工成型点
飞秒激光微纳加工面
弹性模量
原子力显微镜
无针尖微探针
有限元
支持向量机
纳米硬度计
Cono-Spherical压头
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