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Cr1-xVxN薄膜相关论文
PEMS和CMS制备CrNx和Cr1-xVxN薄膜的对比研究
硬质薄膜能够有效改善机械零件表面的摩擦磨损性能,不同制备工艺对硬质薄膜的结构和性能的影响规律不同。本文采用等离子体增强磁......
学位
等离子体增强磁控溅射
传统磁控溅射
CrN_x薄膜
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