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Cu(Cr)薄膜相关论文
Cr掺杂对Cu/Si(100)薄膜体系的微观结构及电阻率的影响
利用简易合金靶在Si(100)衬底磁控溅射制备Cu、Cu-1.19%Cr和Cu-2,18%Cr薄膜,研究Cr对Cu薄膜在300-500℃真空退火前后的结构和电阻率的影响......
期刊
Cu(Cr)薄膜
织构
热稳定性
电阻率
Cu(Cr) films
texture
thermal stability
resistivity
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